一种基板曝光装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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本实用新型涉及液晶显示技术领域，公开了一种基板曝光装置。所述基板曝光装置包括载台、管路、真空组件、风机及加湿组件，载台能够承载基板，载台内开设有过气通道，管路的一端与过气通道相连通，真空组件与管路的另一端相连通，真空组件能使过气通道呈负压状态，以将基板吸附在载台上，风机与管路的另一端相连通，加湿组件能向管路内通入雾化液体，以使风机向过气通道吹入预设湿度的气体。本实用新型的基板曝光装置，曝光结束后，加湿组件和风机配合可以向过气通道内通入预设湿度的气体，实现基板和载台之间的破真空，且基板下表面处于预

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213210719 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022423723.6 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人昆山龙腾光电股份有限公司