一种用于外延膜生长设备的晶圆定位装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种用于外延膜生长设备的晶圆定位装置.pdf

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本申请涉及一种用于外延膜生长设备的晶圆定位装置，包括基座、晶圆放置槽和提升销，晶圆放置槽位于基座的中部，提升销围绕基座的中心等间距圆周分布，基座上设有定位销，定位销在晶圆放置槽外绕基座的中心等间距圆周分布，定位销沿晶圆下降方向于基座上投影的边缘与晶圆放置槽的边缘相切；本申请具有稳定晶圆的效果，在提升销向晶圆放置槽内运送晶圆的过程中，有一定概率会因空气的原因导致晶圆与晶圆放置槽间定位不准，此时基座上的定位销则可以起到保持运送过程稳定的作用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184248 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202022733796.5 (22)申请日 2020.11.23 (73)专利权人盛吉盛（宁波）半导体科技有限公