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本实用新型公开了一种适用于硅片分选机的自动上料机构,包括机架和设置于所述机架一侧的控制面板,所述机架顶部设置有满料盒输送结构和空料盒输送结构,所述满料盒输送结构与所述空料盒输送结构的输送方向相反,所述满料盒输送结构和所述空料盒输送结构分别对应有驱动结构,所述驱动结构设置于所述机架内侧,所述满料盒输送结构运动方向的尾部第一移载装置,所述空料盒输送结构运动方向的头部设置有第二移栽装置。有益效果在于:通过将传统的人工手动放料改为全自动上料,节省人力的同时,提高了料盒的放料效率;通过采用自动上料的方式,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213201281 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202020278754.4 H01L 21/677 (2006.01)
(22)申请日
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