一种CVD炉用分体式进气管.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种CVD炉用分体式进气管.pdf

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本实用新型涉及一种CVD炉用分体式进气管，该分体式进气管包括进气管主体，所述的进气管主体为圆柱筒，进气管主体侧面上端连接有外管，进气管主体内套接有内管并且通过进气管主体上端的快速真空法兰和卡箍与内管固定连接，所述的快速真空法兰设置有密封圈。本实用新型内管通过快速真空法兰与进气管主体连接，快速真空法兰采用聚四氟乙烯密封圈密封，采用卡箍固定快速真空法兰及密封圈，此结构在保证进气管气密性的同时，既方便进气管的组装、拆卸，又方便进气管的内管和外管的清洗，提高了进气管的清洗效率，保证了进气管内部的洁净度，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203193 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021757958.2 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人山东国晶新材料有限公司