- 1、本文档共9页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及晶片清洗机,包括持取侧、清洗侧以及持取机构,持取机构中具有在持取侧和清洗侧之间移动的持取部,持取部包括底座和多个用于承托晶片的接触点,接触点承托晶片隔开于底座以形成清洗用的间隔,接触点分布设置在底座上,接触点中的部分或全部相对于底座可调节高度,通过调节接触点高度调节所承托晶片的水平度,本实用新型的晶片清洗机的持取机构能够稳定的持取机械臂放下的晶片,防止晶片倾斜、偏心。在一些实施例中,能够通过调节接触点的高度来保持晶片的水平,在移动到清洗侧后,药液能够充分的对晶片进行清洗,整个持取和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213194765 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021811573.X
(22)申请日 2020.08.26
(73)专利权人 上海晶盟硅材料有限公司
您可能关注的文档
- 一种电控盒及空调器.pdf
- 一种百叶棚的开闭控制结构.pdf
- 一种百叶棚的控制连接结构.pdf
- 一种压缩机连接管焊接工装.pdf
- 一种骨科手术钻头.pdf
- 一种用于下肢康复训练的座椅.pdf
- 一种工程设备专用的分体式行星架.pdf
- 一种自动变速器的行星架.pdf
- 出风调节机构及汽车扶手箱通风装置.pdf
- 一种连杆及挖掘机.pdf
- 《GB/Z 44363-2024致热性 医疗器械热原试验的原理和方法》.pdf
- GB/T 16716.6-2024包装与环境 第6部分:有机循环.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 《GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统》.pdf
- GB/T 44376.1-2024微细气泡技术 水处理应用 第1 部分:亚甲基蓝脱色法评价臭氧微细气泡水发生系统.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 44305.2-2024塑料 增塑聚氯乙烯(PVC-P)模塑和挤塑材料 第2部分:试样制备和性能测定.pdf
- 《GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求》.pdf
- GB/T 44315-2024科技馆展品设计通用要求.pdf
- GB/T 39560.9-2024电子电气产品中某些物质的测定 第9 部分:气相色谱-质谱法(GC-MS)测定聚合物中的六溴环十二烷.pdf
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)