一种便于联结的聚对二甲苯卧式真空沉积系统结构.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种便于联结的聚对二甲苯卧式真空沉积系统结构.pdf

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本实用新型公开了一种便于联结的聚对二甲苯卧式真空沉积系统结构，包括真空腔室、底座和主机，所述真空腔室水平布置于底座的顶端，所述主机的底部安装有底板。本实用新型通过将真空腔室安装布置于安装板的上方，并利用电动伸缩杆二驱动底座与真空腔室沿固定轴进行摆动，利用电动伸缩杆一带动安装板与真空腔室整体向远离主机的一侧进行平移，平移后利用电动伸缩杆二带动底座与真空腔室进行摇摆脱离主机，这样不需要使真空腔室移动很长的间距也能实现真空腔室与主机的大范围脱离，且真空腔室沿固定轴进行摆动后的主机与真空腔室端面垂直，更

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213203191 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022013943.1 (22)申请日 2020.09.15 (73)专利权人吉世科精密涂装（深圳）有限公司