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本实用新型提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括：沉积炉本体；连接管，所述连接管固定安装在所述沉积炉本体的顶部；收集箱，所述收集箱设于所述沉积炉本体的一侧，所述连接管远离所述沉积炉本体的一端延伸至所述收集箱内。本实用新型提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置通过设置第一滤布，能够将粉尘阻挡在收集箱内，设置多个清理丝，能够使得第一滤布能够保持良好的通透性，从而避免较多的粉尘附着在第一滤布上；设置第二滤布，能够使风机在关闭的情况下，粉尘回流到沉积炉本体内；设置V形板，使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213193032 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021013623.X
(22)申请日 2020.06.05
(73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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