一种硅片寿命测试时的氧化和检测装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种硅片寿命测试时的氧化和检测装置.pdf

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本实用新型提供一种硅片寿命测试时的氧化和检测装置，至少包括：用于对硅片单侧表面进行氧化的氧化单元；和依次对氧化后的硅片表面进行钝化和载流子寿命测试的检测单元；其中，氧化单元与检测单元相互独立设置；氧化单元至少包括用于放置硅片的放置部和使硅片单侧表面氧化的氧化部；硅片被置于放置部内且其单侧表面被裸漏设置；氧化部被设置于放置部上方；检测单元至少包括用于对被氧化的硅片表面进行电荷沉积的钝化部和用于对钝化后的硅片表面进行载流子寿命测试的检测部，钝化部和检测部同侧设置。本实用新型的氧化和检测装置，整体结构

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213212114 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202022531985.4 (51)Int.Cl.