一种高精度晶片厚度检测机构.pdfVIP

下载本文档

0
0
约5.87千字
约 7页
2023-03-05 发布于四川
举报
版权申诉

一种高精度晶片厚度检测机构.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种高精度晶片厚度检测机构，包括台面，所述台面上表面的一侧设置有检测器，所述检测器的上方设置有支架，所述支架朝向台面的中心方向设置，所述支架的下表面安装有第一红外检测单元，所述第一红外检测单元的正下方对应的的台面处设置有圆孔，所述检测器设置有电线A连接所述第一红外检测单元，所述检测器还设置有电线B连接有第二红外检测单元，所述第二红外检测单元设置在所述台面的下方，且所述第二红外检测单元与所述第一红外检测单元在同一竖直线上。通过两个红外检测单元对晶片进行厚度检测，精度高且操作简单。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213208925 U (45)授权公告日 2021.05.14 (21)申请号 202021533848.8 (22)申请日 2020.07.29 (73)专利权人苏州思达优科技有限公司