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本实用新型公开了一种电子注入装置,涉及电子注入技术领域,包括:机架;传送机构,设置在机架上,能够传送工件;加热组件,可升降地设置在机架上,能够对工件加热;压板,可升降地设置在机架的上方;测温组件,可升降地设置在压板下侧;电子注入组件,可升降地设置在压板下侧;能够通过电子注入组件向工件内注入电子,并具有测温组件和加热组件,能够满足电子的注入温度要求,该装置自动化程度高,电子的注入效率高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213184213 U
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202022567866.4 H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2
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