一种电子注入装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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一种电子注入装置.pdf

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本实用新型公开了一种电子注入装置，涉及电子注入技术领域，包括：机架；传送机构，设置在机架上，能够传送工件；加热组件，可升降地设置在机架上，能够对工件加热；压板，可升降地设置在机架的上方；测温组件，可升降地设置在压板下侧；电子注入组件，可升降地设置在压板下侧；能够通过电子注入组件向工件内注入电子，并具有测温组件和加热组件，能够满足电子的注入温度要求，该装置自动化程度高，电子的注入效率高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184213 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202022567866.4 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2