实现注入电荷静电驱动的单刀四掷集成开关芯片.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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实现注入电荷静电驱动的单刀四掷集成开关芯片.pdf

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本实用新型涉及一种实现注入电荷静电驱动的单刀四掷集成开关芯片，包括四组单刀四掷开关，所述的开关芯片由固定板和可动板键合构成，所述的两组驱动单元阵列通过实时控制电荷屏蔽，驱动悬挂四方板向固定板运动或离开固定极板运动，使单刀四掷开关处于接通状态或断开状态，完成单刀四掷开关的连通动作和关断动作。采用了本实用新型的实现注入电荷静电驱动的单刀四掷集成开关芯片，运用了新的注入电荷静电驱动原理，整个开关过程控制由IC系统电源完成，不需要更高的驱动电源，完全克服了电容型静电驱动需高电压驱动的固有缺陷，使静电驱动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184137 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202022580950.X (22)申请日 2020.11.10 (73)专利权人汤玉生地址 20