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本实用新型公开了一种制取高纯三氟甲烷的装置，包括依次连接的原料气供给系统、吸附系统、过滤系统、精馏系统以及产品气充装系统，原料气供给系统包括用于盛装原料气的原料钢瓶，吸附系统包括用于吸附二氧化碳和水分的吸附塔，过滤系统包括用于过滤固体颗粒的过滤器，精馏系统包括用于去除轻组分的第一精馏塔和用于去除重组分的第二精馏塔，产品气充装系统包括用于接收产品气的产品缓冲罐、用于充装气体的膜压机以及用于盛装产品气的产品钢瓶。本实用新型首次公开了一种制取高纯三氟甲烷的装置，经过减压、吸附、过滤、精馏制取得到高纯三
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213202874 U
(45)授权公告日 2021.05.14
(21)申请号 202021245515.5
(22)申请日 2020.06.30
(73)专利权人 安徽艾佩科电子材料有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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