晶圆载具的开合装置.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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晶圆载具的开合装置.pdf

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本申请涉及一种晶圆载具的开合装置。本申请实施例的开合装置包括：基座；支撑平台，设置于基座上且用于承载晶圆载具；第一动力机构，连接于支撑平台且用于驱动支撑平台沿上下方向移动；第二动力机构，设置于基座上且位于支撑平台沿纵向的一侧；两个夹持机构，沿横向相对设置，各夹持机构包括夹持臂和位于夹持臂内侧的夹块，夹块连接于夹持臂且能够沿夹持臂的长度方向滑动，夹持臂的一端连接于第二动力机构。第二动力机构用于驱动夹持臂转动和驱动夹持臂沿横向移动，以将两个夹块移动到晶圆载具沿横向的两侧并夹紧晶圆载具。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213184234 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202120570708.6 (22)申请日 2021.03.19 (73)专利权人台湾积体电路制造股份有限公司