一种微波等离子谐振腔.pdfVIP

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2023-03-05 发布于四川
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本实用新型属于微波领域，涉及一种微波等离子谐振腔，具有以下优点：(1)谐振腔由半球形和箱形金属腔组成，微波从箱形金属腔底部两侧进入后，在半球形腔的凹形内壁和箱形腔的底面之间来回反射，将大部分电磁场集中在箱形腔的中部位置，从而激励起稳定的大面积等离子体，获得较高Q值，提高了沉积薄膜面积及均匀性；(2)将气体入口通道设置于半球形腔的顶部中间且对准沉积台中心，气体导入腔内后，气体由箱形金属腔内中部向四周扩散，并沿着沉积台表面均匀向外扩散，大部分气体留在腔内形成对流。随着等离子激发后气体的消耗，小部分气

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218561604 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202223100852.7 (22)申请日 2022.11.22 (73)专利权人深圳市恒运昌真空技术有限公司地址