管式加热炉体以及PECVD设备.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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管式加热炉体以及PECVD设备.pdf

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本实用新型公开管式加热炉体以及PECVD设备，其中，该PECVD设备包括：主体，所述主体形成有反应腔；加热丝，环绕所述主体的外周，可对所述主体进行加热；第一壳体，设置在所述主体的外侧，沿所述主体的周向罩住所述主体；第一保温层，环绕所述主体的周向，设置在所述主体的外侧和所述第一壳体的内侧之间；至少一个第二壳体，设置在所述第一壳体的外侧，并沿所述第一壳体的周向、从水平方向罩住所述第一壳体的外侧的至少一部分；第二保温层，设置在所述第二壳体的内侧和所述第一壳体的外侧之间。本实用新型的管式加热炉体，能够提

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218561603 U (45)授权公告日 2023.03.03 (21)申请号 202222626905.2 (22)申请日 2022.09.30 (73)专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份