一种等离子体处理用聚焦环组件.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种等离子体处理用聚焦环组件.pdf

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本实用新型公开了一种等离子体处理用聚焦环组件，包括支架、等离子聚焦环体、中轴和进气口，所述支架的一侧设置有拆卸结构，所述拆卸结构的中间位置处安装有中轴，所述中轴的表面安装有等离子聚焦环体，所述支架的底端设置有升降结构，所述等离子聚焦环体的顶端安装有进气口，所述夹持结构的底端安装有出气口。本实用新型当转动转把，便带动了齿轮进行旋转，再利用齿轮的旋转，便可带动齿条杆进行高度调节，再利用齿条杆的运动，便可带动齿条架进行上下滑动，通过齿条架的运动将带动等离子聚焦环体进行高度调节，避免了等离子聚焦环体表面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213242484 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022055689.1 (22)申请日 2020.09.18 (73)专利权人盛吉盛（宁波）半导体科技有限公