一种新型等离子体发生装置.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种新型等离子体发生装置.pdf

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本实用新型提供了一种新型等离子体发装置，属于等离子体领域。上述等离子体发生器装置包括阴极组件、阳极组件及进气组件。其中，阴极组件包括阴极内部水管、阴极外部水管及阴极头，阴极内部水管与阴极外部水管能够形成阴极冷却回路，进而有效对阴极头进行冷却；阳极组件包括阳极外部水管、阳极内部水管及阳极头，阳极外部水管及阳极内部水管能够形成阳极冷却回路，从而能够对阳极头进行有效冷却。使用时，给阴极头及阳极头通电，同时，水源管给外层水流通道供应冷却水，冷却水流到阳极头处给阳极头进行冷却降温，然后流入到内层水流通道内

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213244445 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022379063.6 (22)申请日 2020.10.22 (73)专利权人四川轻化工大学地址