可预倾的真空环境加热装置.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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可预倾的真空环境加热装置.pdf

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本实用新型涉及真空环境加热领域，提供了一种可预倾的真空环境加热装置，包括预倾机构、加热单元、热电偶和隔热单元；预倾机构位于加热装置最下方，其上为加热单元，热电偶在加热单元内部，隔热单元覆盖在加热单元的四周和顶部。通过在预倾机构中设置的两个圆弧导轨副实现加热装置一定角度范围的预倾，配合固定倾转角的预倾底座可以满足EBSD测试需要的70°倾角。满足在扫描电子显微镜中一个加热装置兼具水平高分辨测试和EBSD测试的功能需求，具有低使用成本、无外加磁场干扰、整体隔热效果显著、热电子外溢范围可控、高温成像有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213239982 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022187534.3 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人杭州源位科技有限公司