一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜.pdf

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本实用新型专利属于光学MEMS、3D传感技术、激光扫描、激光传感技术领域，尤其涉及一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜。本实用新型一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，包括玻璃衬底、单晶硅、光学反射膜和引线pad；玻璃衬底位于单晶硅的底部，光学反射膜和引线pad设置在单晶硅的上部；单晶硅上刻蚀加工出硅扭转梁、MEMS驱动器和硅通气孔。本实用新型设计的一种玻璃衬底的MEMS扫描振镜，采用玻璃衬底取代单晶硅衬底，从而利用硅‑玻璃阳极键合工艺取代硅‑硅键合工艺，大幅度降低键合工艺要求和工艺成本，提高工艺良率，从而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213240664 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022523914.X B81C 1/00 (2006.01) (22)申请日 20