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本实用新型涉及控制阀技术领域,尤其是一种气体流量控制阀,包括阀体、柱塞、压电片、堵头及弹簧,其利用柱塞封堵住控制孔的内端孔口,使阀腔内的气体无法流出,并在压电片施加电压后,压电片产生轴向弯曲变形以推动柱塞向堵头方向移动,控制孔的内端孔口逐渐被打开,弹簧被压缩,压电片上所施加的电压越大,柱塞的位移量越大,控制孔内端孔口的开度越大,阀腔中的通过控制孔的流量也就越大,从而实现对气体流量的控制,且利用压电片驱动柱塞移动,能够具备体积小、功耗低、响应速度快及流量控制精度高的优点,同时,通过旋转柱塞,可微调
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213236139 U
(45)授权公告日 2021.05.18
(21)申请号 202021721037.0
(22)申请日 2020.08.17
(73)专利权人 费
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