一种大口径平面离子束抛光机的离子源三维运动执行机构.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种大口径平面离子束抛光机的离子源三维运动执行机构.pdf

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本实用新型涉及及离子源运动技术领域，公开了一种大口径平面离子束抛光机的离子源三维运动执行机构，包括三维运动机构主体，三维运动机构主体的下端设有支撑座，支撑座通过支撑机构与三维运动机构主体的下端相连接；支撑机构包括支撑槽，支撑槽开设在支撑座的上端，支撑槽靠近槽底一端位置的两端槽壁上对称镶嵌有轴承，两个轴承的内圈壁上共同固定连接有双向螺纹杆，双向螺纹杆的中心处通过驱动组件与支撑槽的槽底相连接，位于两个轴承之间的双向螺纹杆杆壁上对称螺纹连接有螺母，螺母的下端环形侧壁上连接有限位组件。本实用新型可以根据

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213225374 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022237039.9 (22)申请日 2020.10.10 (73)专利权人常州卓研精机科技有限公司