一种扩散炉净化台净化系统.pdfVIP

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2023-03-06 发布于四川
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一种扩散炉净化台净化系统.pdf

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一种扩散炉净化台净化系统，包括净化台框架和净化装置，所述净化装置包括空气过滤净化器、风机以及进风口构成；所述空气过滤净化器、风机以及进风口设置于净化台框架的上方；本实用新型通过设置空气过滤净化器对进入搬舟结构的气体进行净化，其一能够有效防止空气中过得灰尘等杂质对硅片的生产工艺产生影响，其二能够提高硅片的散热效率，且本实用新型通过将气流的导入口和到出口分别设置于空气过滤净化器的侧面以及风口的侧面，有效防止灰尘等杂质顺着导入口或导出口进入搬舟结构的内部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213242498 U (45)授权公告日 2021.05.18 (21)申请号 202022319475.0 (22)申请日 2020.10.17 (66)本国优先权数