基于立式精密回转主轴的金刚石刀具刃口质量测量装置.pdfVIP

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2023-03-07 发布于四川
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基于立式精密回转主轴的金刚石刀具刃口质量测量装置.pdf

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本实用新型公开了基于立式精密回转主轴的金刚石刀具刃口质量测量装置，包括基体、龙门框体、主动隔振系统、前后移动导轨、待测超精密主轴、标准球微调机构、原子力测量模块、交叉移动导轨等。在待测超精密主轴外部设有气源压力调节与稳定装置，减小供气压力波动，提高主轴运行稳定性；同时电气控制系统采用基于PID鲁棒自适应控制的先进控制方法，对待测超精密主轴的回转运动进行控制，减小外界扰动对测量过程的影响。上述多个举措可以保证测量过程中减小甚至消除外界各种扰动的影响，同时采用具有亚纳米级测量噪声的原子力测量模块进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213274824 U (45)授权公告日 2021.05.25 (21)申请号 202022545182.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020