- 1、本文档共9页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种菱形硅芯的卡件,属于多晶硅生产技术领域,包括底座、尖嘴和固定环,所述底座下端底部开设有凹孔,所述尖嘴放置在底座上,所述固定环套设在底座和尖嘴的外侧,固定环套用于固定底座和尖嘴,所述固定环包括上套环,所述上套环与尖嘴紧密配合,所述尖嘴中部开设有用于固定菱形硅芯的通孔,解决了现有技术中硅芯卡件不能与菱形硅芯紧密配合,达不到稳定固定菱形硅芯的目的;且卡件结构复杂,制造卡件工艺繁杂,导致成本高;以及晶体硅的沉积效率低,产品收率低的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213326754 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202021941348.8
(22)申请日 2020.09.08
(73)专利权人 云南通威高纯晶硅有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)