一种磁控溅射设备的换样片装置.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种磁控溅射设备的换样片装置.pdf

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本实用新型公开了一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，移动板的一侧固定连接有压力板，设备主体的正面活动连接有拉门，支架的一端固定连接有放置架，放置架的一侧活动连接有样片主体，样片主体的一侧活动连接有卡板，卡板的一侧固定连接有第一弹簧，第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，第二固定杆的内部活动连接有限位杆，限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。本实用新型通过第二弹簧的设置，能够使工人能够对设备的样片进行更换，使工人工作更加轻松

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327809 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022042715.7 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人山东沐东真空科技有限公司