一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台.pdf

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本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿、把手、侧板、防护布、固定条、保护框、活动轴、轴承、连接板、底板、活动滚和传动带，所述侧板共设有两个，且两个侧板的下侧两端均固定有支撑腿，支撑腿共设有四个，四个支撑腿的内侧中间处通过底板相连接，两个所述侧板的下侧两端均通过连接板相连接，且连接板位于支撑腿的外侧，两个所述侧板的中间处均等距固定有轴承，两个侧板之间通过活动轴相连接，且活动轴的两端均位于轴承的内侧，所述活动轴的中间处均套接有活动滚，所述传动带套接在活动滚的外侧，所述侧板一端

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327810 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022045490.0 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人山东沐东真空科技有限公司