一种晶圆加工光照定位结构.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种晶圆加工光照定位结构.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆加工光照定位结构，包括工作支架，所述工作支架上端设置有连接支架，连接支架下端内壁设置有固定块，固定块侧端设置的吸气器下端与连接支架下端内壁接触，且撑板中部开设的吸附管口由吸附管与吸气器的侧端连接，且固定块侧端设置的横杆与撑柱连接，且撑柱下端与工作支架上端固定连接，撑块两端设置的连接竖杆与撑板下端连接，且撑板上端设置有限位板。该晶圆加工光照定位结构，结构设置合理，首先将晶圆放置到限位板上开设的晶圆槽上，在将限位板放到撑板上，使其加工时的初步定位，同时在晶圆加工器板周边设置的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213321012 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021802584.1 (22)申请日 2020.08.26 (73)专利权人河