HVPE密闭式手动加镓装置.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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HVPE密闭式手动加镓装置.pdf

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本实用新型公开了HVPE密闭式手动加镓装置，它包括：镓容器（1）；镓舟（2），所述镓舟位于镓容器下方；第一手动阀门（3），所述第一手动阀门连通于镓容器底部；第二手动阀门（4），所述第二手动阀门分别与第一手动阀门和镓舟连通；第一气动阀（5），所述第一气动阀一端接入在第一手动阀门和第二手动阀门之间，另一端与外界连通。本实用新型的有益效果是利用控制系统，实现密闭人工加镓，能很好的去除加镓装置的空气和加镓过程中空气的进入。大大改善了因加镓污染腔体的环境。更好地保证反应腔反应环境同时提高了产品的良率，减小

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327939 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022168536.8 (22)申请日 2020.09.28 (73)专利权人镓