一种新型晶圆机械减薄装置.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种新型晶圆机械减薄装置.pdf

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本实用新型公开一种新型晶圆机械减薄装置，包括固定底座，所述固定底座上端固定连接有两个卡柱式固定板装置，所述固定底座上端通过两个卡柱式固定板装置卡接有防护座，所述防护座上端套接有支撑旋转柱，所述支撑旋转柱下侧外壁套接有一号锥形齿轮，因为安装有卡柱式固定板装置，且卡柱式固定板装置中的通孔固定板与固定底座固定连接，同时防护座与十字形卡柱卡接，所以在进行安装工作的时候，工作人员通过对卡柱式固定板装置进行伸缩工作，就可以快速地进行安装工作，从而方便进行更换工作和维修工作，并且也可以快速地投入使用，这样不仅

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213304086 U (45)授权公告日 2021.05.28 (21)申请号 202023034090.6 (22)申请日 2020.12.16 (73)专利权人新郑市宝德高技术有限公司