一种内置可控多加热区的扩散炉.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种内置可控多加热区的扩散炉.pdf

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本实用新型公开了一种内置可控多加热区的扩散炉，炉体，炉体的外部套设有防热套，炉体的一侧固定安装有总开关，炉体的内部固定安装有出气管，炉体的内部固定安装有第一隔板和第二隔板，炉体的内部自上到下通过第一隔板和第二隔板分隔为前段加热室、中段加热室和后段加热室，炉体顶部的两侧均固定连通有第一进气管，本实用新型一种内置可控多加热区的扩散炉，炉体内气体上下流动，保证炉体内各处扩散气体浓度相同，扩散效果提高，进气管方向的设置可以对炉体的两侧进行一次预热，减少气体密度和温度差异，促进炉体内部温度和气流的稳定，实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213335530 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022031177.1 H01L 21/22 (2006.01) (22)申请日 2