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本实用新型涉及一种在研磨液配制过程中的辅助装置，所属半导体研磨加工防护技术领域，包括机架，所述的机架上端设有与机架相螺栓固定的辅助送料组件，所述的机架侧下方设有与辅助送料组件相连通的配料桶。所述的辅助送料组件包括辅助框架，所述的辅助框架前端设有加料槽，所述的加料槽下部设有与配料桶连通的落料槽，所述的辅助框架上端设有导轨，所述的导轨上设有与导轨相活动式插嵌连接的横移气缸，所述的横移气缸下端设有一对夹紧块，所述的夹紧块与横移气缸间设有夹紧气缸。具有结构简单、省时省力、运行稳定性好和使用效果好的特点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213314762 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202021808113.1
(22)申请日 2020.08.26
(73)专利权人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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