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本实用新型提供一种光束入射角可控的激光加工装置,包括激光发生单元,中空单元,激光发生单元发出焦距为F、方向为轴向E的光束,该光束经过中空单元后入射在工件表面;中空单元设置第一、二反射镜,激光发生单元发出的光束照射在第一反射镜面,经第一反射镜面反射后照射在第二反射镜面,经第二反射镜面反射后照射在工件表面;通过调节第一反射镜面倾角和/或第二反射镜面倾角能够调控光束入射角,从而可实现任意光束入射角的激光加工,尤其能够得到大角度光束入射,并且当中空单元旋转时可得到可控锥度的激光旋转加工,在激光打孔、激光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213318327 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202021549573.7 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
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