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本实用新型公开了一种可选择性炉门抽气气路结构,涉及扩散炉技术领域,本实用新型包括炉管和炉门,炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室,内腔室和炉口腔室通过通道连通,所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管,所述内腔室内部设置有尾气管,所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接,炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接,抽空主管道连接有真空泵;本实用新型结构简单,可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生,可以提高产品的一次通过率;同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213335547 U
(45)授权公告日 2021.06.01
(21)申请号 202021593071.4
(22)申请日 2020.08.04
(73)专利权人 通威太阳能(成都)有限公司
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