一种可选择性炉门抽气气路结构.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种可选择性炉门抽气气路结构.pdf

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本实用新型公开了一种可选择性炉门抽气气路结构，涉及扩散炉技术领域，本实用新型包括炉管和炉门，炉门与炉管配合后形成内腔室和炉口腔室，内腔室和炉口腔室通过通道连通，所述炉门上设置有与炉口腔室连通的炉口抽气管，所述内腔室内部设置有尾气管，所述尾气管一端延伸出内腔室与抽空主管道连接，炉口抽气管通过调压管件与抽空主管道连接，抽空主管道连接有真空泵；本实用新型结构简单，可以减少炉门因偏磷酸成绩导致的异常停机和方阻不良产生，可以提高产品的一次通过率；同时降低了技术人员处理异常频次和劳动强度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213335547 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021593071.4 (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人通威太阳能（成都）有限公司