一种单晶炉水冷屏结构.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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一种单晶炉水冷屏结构.pdf

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本实用新型涉及单晶材料生产技术领域，具体涉及一种单晶炉水冷屏结构。主要技术方案为：一种单晶炉水冷屏结构，包括:第一筒体、第二筒体、第一管道和第二管道；所述第二筒体套装在所述第一筒体的外侧；所述第二筒体与所述第一筒体同轴设置；所述第二筒体与所述第一筒体之间具有间隙；所述第一筒体内具有流体通道一；所述第二筒体内具有流体通道二；所述第一管道分别与所述流体通道一和所述流体通道二连通；所述第一管道分别连接在所述第一筒体和所述第二筒体的顶部；所述第二管道分别与所述流体通道一和所述流体通道二连通；所述第二管道

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327923 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021749374.0 (22)申请日 2020.08.20 (73)专利权人新疆晶科能源有限公司