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本实用新型公开了一种气浮运动平台,包括大理石底座、移载台、光栅反馈装置和直线电机,大理石底座支撑在机架上,大理石底座两侧上部向外凸出形成导轨,移载台包括运动滑台板和两个浮子板,运动滑台板的两端分别与两个浮子板的一端相连,浮子板的截面为C形,浮子板口对口对称围住两导轨,气浮轴承与移载台相连且对应导轨的各表面设置,大理石底座上部设置有凹槽,直线电机设置在凹槽内,直线电机的动子与运动滑台板相连,光栅反馈装置设置于移载台与大理石底座之间。本实用新型能够实现导轨与移载台之间气膜厚度的均匀,保证气浮平台的精
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213360855 U
(45)授权公告日 2021.06.04
(21)申请号 202021921614.0
(22)申请日 2020.09.04
(73)专利权人 阿尔伯特(苏州)科技有限责任公
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