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本实用新型公开了一种晶圆传送盒，其结构包括箱体、提手、箱盖、密封环、放置盒、承载板、卡槽、握把，提手与箱体为一体化结构，箱盖活页连接于箱体，密封环嵌固连接于箱盖下方，放置盒焊接连接于箱盖，承载板焊接连接于箱体，卡槽螺钉固定于箱体前端，握把活动卡合于箱体前端，本实用新型通过对晶圆传送盒结构的改进，将晶圆的存放方式改变为立式存放并通过盖板夹紧支撑晶圆，最大程度的减少晶圆与下落灰尘等接触的面积，在取出晶圆时，通过装夹装置，可直接取下晶圆，并将晶圆放置于工作平台，避免手指等接触晶圆表面而导致晶圆收到污染
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213366545 U
(45)授权公告日 2021.06.04
(21)申请号 202021833927.0
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 肖燕霞
地址 3
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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