双倍率观察镜头.pdfVIP

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本实用新型公开了双倍率观察镜头,包括透反镜座一、透反镜座二、大倍率镜头和小倍率镜头,大倍率镜头的顶部设置相机接口一,小倍率镜头的顶部设置相机接口二,大倍率镜头下部一侧面连接透反镜座一,大倍率镜头和小倍率镜头的底部之间连接透反镜座二,大倍率镜头的下方位于透反镜座二的底部连接物镜接口,透反镜座一内安装有反射镜一和透反镜片一,透反镜座二内安装有反射镜二和透反镜片二。本实用新型的观察镜头能对半导体芯片进行检测,有大倍率镜头和小倍率镜头,镜头是双倍率的,可以同时看整颗芯片的外形,又可以局部放大进行细节缺陷

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213365198 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022773313.4 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人 南京维埃迪光电技术有限公司

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