一种硅外延设备的托盘支撑结构.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种硅外延设备的托盘支撑结构.pdf

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本实用新型提供了一种硅外延设备的托盘支撑结构，属于硅外延设备技术领域，转轴、三个支撑杆以及石英支撑柱；支撑杆沿转轴的周向均匀连接在转轴的外周壁上，石英支撑柱与支撑杆一一对应，且石英支撑柱固定在支撑杆的自由端；其特征在于，托盘支撑结构还包括若干耐磨套，耐磨套与石英支撑柱一一对应，且套设在石英支撑柱上；耐磨套为多边形结构；其中，耐磨套适于插入环形槽内，耐磨套的外周壁设有适于抵紧环形槽两侧壁的抵紧结构。通过耐磨套和抵紧结构的配合，能够填补石英支撑柱与环形槽内壁面之间的缝隙，进而减少石英支撑柱与托盘之间

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218580133 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202223035809.7 (22)申请日 2022.11.15 (73)专利权人河北普兴电子科技股份有限公司地址