一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件.pdf

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本实用新型公开了一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件，包括底座，所述底座上固定连接有固定杆，所述固定杆上固定连接有套筒，且套筒中转动连接有T形固定块，所述T形固定块上开设有凹槽，且凹槽中固定连接有插杆，所述插杆上开设有两个对称设置的滑槽，所述滑槽中滑动连接有滑杆，且滑杆上固定连接有抵块，所述抵块与插杆之间固定连接有多个复位弹簧，所述滑槽中固定连接有与滑杆相配合的电磁片。本实用新型涉及靶材技术领域，通过设置的电磁片和复位弹簧的配合，便于使得抵块快速抵紧管型靶材，保持管型靶材放置的稳固，且转动设置的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213352346 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022192837.4 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人河南东微电子材料有限公司