用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统.pdf

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本实用新型涉及一种用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统，PLC冷却装置包括：控制模块、水冷机、若干进水管路、若干回水管路和若干水流计，其中，水冷机与控制模块双向电连接；若干进水管路中每路进水管路的进水端均连接至水冷机的出水口，若干进水管路中每个进水管路的出水端与金刚石生长系统中若干待冷却部件的冷却水入口一一对应连接；若干回水管路中每个回水管路的进水端与若干待冷却部件的冷却水出口一一对应连接，若干回水管路中每个回水管路的出口端均连接至水冷机的入水口；若干水流计一一对应设置在若干进水管路上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388972 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202021593738.0 (22)申请日 2020.08.04 (73)专利权人山西云矽电子科技有限公司