晶圆夹持机构及缺陷检测装置.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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晶圆夹持机构及缺陷检测装置.pdf

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本实用新型提供了一种晶圆夹持机构及缺陷检测装置，所述晶圆夹持机构包括至少三组夹持部，用于在晶圆的边缘位置夹持所述晶圆；每组所述夹持部包括固定部以及与所述固定部配合夹持所述晶圆的边缘的活动部，所述固定部包括用于放置所述晶圆的承载面和用于限制所述晶圆水平移动的第一抵挡面，至少所述第一抵挡面的底部内缩，以增大相邻的所述第一抵挡面的底部之间的距离。本实用新型的技术方案能够降低具有翘曲的晶圆的卡片机率，进而提高缺陷检测效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213366566 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022892141.2 (22)申请日 2020.12.02 (73)专利权人中芯集成电路制造（绍兴）有限公