一种晶圆载片盘的固定装置.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种晶圆载片盘的固定装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆载片盘的固定装置，涉及晶圆载片配件技术领域，现有的晶圆载片盘的固定装置固定效果不好以及适用性差，现提出如下方案，包括壳体，所述壳体的外侧壁上贯穿安装有调节机构，所述壳体的上表面开设有十字型的凹槽，所述壳体的上方放置有载片盘，所述调节机构的上方通过螺栓安装有固定板，且固定板位于载片盘的外侧，所述固定板的上方焊接有U型板，所述U型板的内侧壁上固接有活动轴。本实用新型通过转动活动块，使得活动块上的卡块与U型板嵌合固定在一起，然后转动转柄，使得转轴A在活动块上方的螺纹孔中上下移动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213366561 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022043256.4 (22)申请日 2020.09.17 (73)专利权人连云港旭晶光电科技有限公司