一种大行程高带宽快反镜结构.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种大行程高带宽快反镜结构.pdf

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本实用新型公开了一种大行程高带宽快反镜结构，包括基座，所述基座上端中部安装有连接轴，所述连接轴顶端连接有镜座，所述镜座上端中部安装有反射镜，所述镜座底端四角处安装有音圈电机磁铁，所述音圈电机磁铁上端中部安装有压电陶瓷，所述基座上端正对所述音圈电机磁铁处安装有音圈电机线圈。有益效果在于：本实用新型通过在音圈电机磁铁上增设压电陶瓷，使得该种音圈电机驱动的快反镜在具备精度高、工作行程较大、驱动电压低、易于驱动控制等优点的前提下，还具有压电陶瓷驱动的快反镜的高带宽能力，有效克服了音圈电机驱动的快反镜以及

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218585094 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202223146155.5 (22)申请日 2022.11.26 (73)专利权人四川中科朗星光电科技有限公司地址