标准式离子镀膜系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.41千字
约 9页
2023-03-09 发布于四川
举报
版权申诉

标准式离子镀膜系统.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种标准式离子镀膜系统。标准式离子镀膜系统包括主体模块和电源模块；主体模块包括主体框架、电控柜、镀膜室以及抽真空泵组，电控柜连接主体框架并形成主体骨架，主体骨架内部形成容置空间，镀膜室和抽真空泵组位于容置空间内；抽真空泵组和镀膜室分别与电源模块电连接。在安装过程中，由于电控柜、镀膜室以及抽真空泵组等主要功能模块集成于主体模块，在运输过程中无需对各个功能模块进行拆分，即保持了各个功能模块之间的连接，待运输至安装现场时，只需将电源模块与各个功能模块进行连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213357728 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202021909349.4 (22)申请日 2020.09.03 (73)专利权人江苏爱科斯真空科技有限公司