一种垂直偏振态准分子激光器.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种垂直偏振态准分子激光器.pdf

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本申请提供一种垂直偏振态准分子激光器，包括：种子腔、放大腔以及设置在种子腔至放大腔的光路上的第一高反射镜、第二高反射镜和转置棱镜；第一高反射镜和第二高反射镜的表面均设有偏振方向平行于镜片入射面的高反射膜；转置棱镜的入射表面和出射表面设有偏振方向与转置棱镜入射面相互垂直的增透膜。本申请中，偏振膜层能提高特定偏振方向的激光传输效率，从而，在激光的传输过程中，通过设有偏振膜层的高反射镜和转置棱镜对种子腔输出的激光和放大腔输出的激光进行多次提纯，补偿长距离光路传输过程中的退偏影响，实现最终具有高偏振度的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213367022 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202021950108.4 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人中国科学院微电子研究所