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本实用新型涉及一种基于限制自由度H型顶板晶圆片顶出装置，晶向调整机构便于多片晶圆的方向调整，减少人为干预，可实现无损无接触，便于后期传送；晶圆片传送方式采取丝杠传动，相对于其他传动类型，比如同步带传送具有传动平稳、尺寸紧凑、传动精度高等特点。为了使晶圆片能够顺利的实现传送，需要将方向调整好的晶圆片顶出晶舟，利用晶圆片的具有切边的特点，设计出晶圆顶板机构，可以很平稳的将晶圆片顶出晶舟，便于夹板夹取。本实用新型与现有技术相比较体现了其传送连续，晶向调节方便的优点，提高了传送效率，使晶向调整及传送的过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213366565 U
(45)授权公告日 2021.06.04
(21)申请号 202022803167.5
(22)申请日 2020.11.28
(73)专利权人 扬州思普尔科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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