一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器.pdf

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本实用新型涉及一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，由若干电容单元阵列形成，所述电容单元包括由下至上依次设置的基底、在基底上重掺杂形成的下极板、氧化硅层、以及采用CMOS薄膜形成的上极板；所述氧化硅层作为牺牲层，形成上极板与下极板之间的电容间隙；所述CMOS薄膜包括下多晶硅层及上多晶硅层，所述下多晶硅层上设置有若干牺牲层释放孔，所述上多晶硅层使电容间隙形成真空密封；本实用新型采用若干电容单元阵列形成，使得每个电容单元的尺寸可以减少，CMOS薄膜的厚度以及电容间隙相对于传统的结构尺寸可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213364087 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022806319.7 (22)申请日 2020.11.27 (73)专利权人路溱微电子技术（苏州）有限公司