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本实用新型公开了一种刻蚀机的下电极屏蔽装置,包括固定底座,所述固定底座内部顶端两侧设有丝杆,所述丝杆一侧设有转动轮,所述丝杆外侧两端均设有活动座,所述活动座顶端两侧均设有活动板,所述活动板顶端设有固定板,所述固定板与固定底座之间设有电极柱,同侧的两个所述活动板之间设有屏蔽弧板,所述屏蔽弧板弧形内侧设有防护垫。本实用新型通过丝杆、屏蔽弧板和防护垫的设置,伺服电机工作可以带动丝杆进行转动,进而可以调节两个屏蔽弧板之间的距离,进而使得屏蔽弧板和防护垫可以对电极柱进行屏蔽,可以加强电极柱的屏蔽效果,同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213366523 U
(45)授权公告日 2021.06.04
(21)申请号 202022512340.6
(22)申请日 2020.11.03
(73)专利权人 无锡芯汉电子科技有限公司
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