一种刻蚀机的下电极屏蔽装置.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种刻蚀机的下电极屏蔽装置.pdf

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本实用新型公开了一种刻蚀机的下电极屏蔽装置，包括固定底座，所述固定底座内部顶端两侧设有丝杆，所述丝杆一侧设有转动轮，所述丝杆外侧两端均设有活动座，所述活动座顶端两侧均设有活动板，所述活动板顶端设有固定板，所述固定板与固定底座之间设有电极柱，同侧的两个所述活动板之间设有屏蔽弧板，所述屏蔽弧板弧形内侧设有防护垫。本实用新型通过丝杆、屏蔽弧板和防护垫的设置，伺服电机工作可以带动丝杆进行转动，进而可以调节两个屏蔽弧板之间的距离，进而使得屏蔽弧板和防护垫可以对电极柱进行屏蔽，可以加强电极柱的屏蔽效果，同时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213366523 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022512340.6 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人无锡芯汉电子科技有限公司