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本实用新型属于半导体生产设备技术领域,尤其是一种硅晶片生产用连续高效的平洗机,针对现有存在硅晶片容易损坏问题,现提出如下方案,其包括外壳,所述外壳的一侧固定安装有第一弹簧,所述第一弹簧的一侧固定安装有推动块,所述推动块滑动连接在外壳的内壁上,所述推动块上固定安装扶手,所述外壳的顶部内壁上固定安装有挡板,所述外壳的一侧底部固定安装有底座,所述底座的顶部一侧固定安装有转轴架,所述转轴架上转动连接有转轴,所述外壳的内壁上转动连接有与转轴架相同的转轴,本实用新型结构简单,通过将一排硅晶片放置在外壳上时,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213366541 U
(45)授权公告日 2021.06.04
(21)申请号 202022820826.6
(22)申请日 2020.11.30
(73)专利权人 昆山中辰矽晶有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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