沉积设备及用于沉积设备的电极结构.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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沉积设备及用于沉积设备的电极结构.pdf

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本实用新型涉及一种沉积设备及用于沉积设备的电极结构，电极结构包括阴极组件、阳极件以及连接件，其中阳极件与阴极组件相对且间隔设置。连接件设置在阴极组件与阳极件之间，并且连接件与阴极组件以及阳极件可拆卸连接，连接件、阴极组件与阳极件共同围合形成沉积腔。上述沉积设备及用于沉积设备的电极结构能调整阳极件与阴极件之间的间距，从而优化沉积设备的成膜质量，并且能降低气体流失量，从而降低了生产成本。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218580054 U (45)授权公告日 2023.03.07 (21)申请号 202222840697.6 (22)申请日 2022.10.27 (73)专利权人中威新能源（成都）有限公司地址